Hệ thống PECVD ba vùng sưởi ấm 1200C
Hệ thống PECVD ba vùng sưởi ấm 1200C

Hệ thống PECVD ba vùng sưởi ấm 1200C

SK2-CVD-12TPB4 là lò ống cho hệ thống PECVD, bao gồm nguồn điện RF 300W hoặc 500W, hệ thống dòng chảy chính xác đa kênh, hệ thống chân không và lò ống. Nhiệt độ thường dùng là 1100 độ C trở xuống, và các đặc điểm chính của nó là nhiệt độ lắng đọng thấp, tốc độ nhanh, chất lượng màng tốt, ít lỗ kim và ít bị nứt hơn. Một thiết bị lý tưởng để nuôi nanowires hoặc chuẩn bị nhiều màng mỏng khác nhau bằng phương pháp CVD.
Gửi yêu cầu
Tính năng

 

● Nhiệt độ tối đa RT-1200 độ

● Loại lò tách rời, bạn có thể mở lò.

● Có thể đưa hơn 2 kênh khí, với độ chân không 10Pa bằng cách sử dụng bơm cơ học và nguồn điện RF 500W để tăng cường tín hiệu.

● Vật liệu cách nhiệt sợi gốm alumina hiệu suất cao

● Độ chính xác kiểm soát nhiệt độ ±1 độ

● Có chức năng báo động quá nhiệt

● Quạt làm mát có thể làm giảm nhiệt độ của vỏ máy

 

Người mẫu

SK2-CVD-12TPB4

Kích thước: Chiều dài vùng gia nhiệt tiêu chuẩn (mm)

440mm

Kích thước: Đường kính ống tiêu chuẩn (mm)

∮60mm

Nhiệt độ tối đa

1200 độ, Nhiệt độ làm việc liên tục 1100 độ.

Điện áp (V)

220 1P

Loại cặp nhiệt điện

K

Yếu tố làm nóng

Dây điện trở hợp kim HRE

Nhiệt độ.Độ chính xác

±1 độ

Độ nóng

0-30 độ /phút điều chỉnh miễn phí

Vật liệu buồng

Sử dụng vật liệu sợi vi tinh thể nhôm chất lượng cao tiên tiến

Cấu trúc lò

Cấu trúc làm mát bằng không khí hai lớp, nhiệt độ bề mặt dưới 60 độ

Bộ điều khiển nhiệt độ

Thiết bị điều khiển nhiệt độ PID thông minh, 30 phân đoạn chương trình, điều khiển SSR, chức năng tự điều chỉnh tham số PID; tăng nhiệt độ theo chương trình, giữ nhiệt theo chương trình, làm mát theo chương trình

Nguồn điện RF 500W

Công suất đầu ra: 5-500W ±1 độ

Tần số RF: 13,56MHz ±0.005%

Công suất phản xạ: lên đến 100W

Trận đấu: Tự động

Giao diện RF: 50Ω, loại N

Làm mát: làm mát bằng không khí

Nguồn điện: AC 208-240V, 50/60HZ

Hệ thống dòng chảy chính xác 4 kênh khí

1. Lưu lượng toàn phần (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML/phút. 10L/phút.

2. Loại van: Van điện từ.

3. Vị trí nghỉ của van: Thường đóng.

4. Chênh lệch áp suất: (50-300)kpa

5. Khả năng chịu áp suất: 3mpa.

6. Nhiệt độ hoạt động: 5-45 độ

7. Vật liệu: thép không gỉ 316L.

Hệ thống chân không

5*10-3Năm

KF25 kết nối nhanh, ống thổi bằng thép không gỉ, van xả thủ công và mặt bích, máy bơm chân không

Hệ thống chân không cao hơn cũng có thể được trang bị tùy chọn.

image001

CHÀO MỪNG OEM/ODM

 

Trang bị tiêu chuẩn

 

Găng tay nhiệt|Móc nồi nấu chảy|Cặp nhiệt điện|Khối ống|Hướng dẫn sử dụng|Dụng cụ|Bơm chân không|Ống thạch anh|Mặt bích|Vòng đệm|Ống dẫn khí 10mm|Giá đỡ mặt bích, Hệ thống khí, Nguồn điện RF.

 

Không bắt buộc

 

Nhiều vùng sưởi ấm khác nhau để bạn lựa chọn;

Màn hình cảm ứng LCD để lựa chọn

Cổng RS485/USB để kết nối máy tính tùy chọn.

 

Hình ảnh chi tiết cho CVD-PECVD

 

image003
Nguồn điện RF 500W
image005
Hệ thống chân không
image007
Hệ thống dòng chảy chính xác 4 kênh khí

 

Ứng dụng

 

Thiết bị này chủ yếu được sử dụng để nuôi cấy các sợi nano hoặc chuẩn bị nhiều loại màng mỏng khác nhau bằng phương pháp CVD.

 

Sự bảo đảm

 

Bảo hành một năm và hỗ trợ kỹ thuật trọn đời

Mẹo đặc biệt:

1. Các vật tư tiêu hao như thanh gia nhiệt, ống thạch anh, nồi nung mẫu, v.v. không nằm trong thời hạn bảo hành.

2. Thiệt hại do sử dụng khí ăn mòn và khí axit không được bảo hành.

 

Chú phổ biến: Hệ thống pecvd ba vùng sưởi ấm 1200c, nhà sản xuất, nhà cung cấp hệ thống pecvd ba vùng sưởi ấm 1200c của Trung Quốc