Lò chân không thường bao gồm động cơ chính, buồng lò, thiết bị gia nhiệt điện, vỏ lò kín, hệ thống chân không, hệ thống cung cấp điện, hệ thống kiểm soát nhiệt độ và phương tiện vận chuyển bên ngoài. Vỏ lò kín được hàn bằng thép cacbon hoặc thép không gỉ, và các bề mặt khớp của các bộ phận có thể tháo rời được bịt kín bằng vật liệu bịt kín chân không. Để ngăn vỏ lò biến dạng sau khi nung và vật liệu bịt kín bị hư hỏng khi nung, vỏ lò thường được làm mát bằng nước hoặc làm mát bằng không khí. Buồng lò nằm bên trong vỏ lò kín. Tùy thuộc vào mục đích sử dụng lò, buồng lò được trang bị các loại bộ phận gia nhiệt khác nhau, chẳng hạn như điện trở, cuộn cảm ứng, điện cực và súng điện tử. Lò chân không để nấu chảy kim loại được trang bị nồi nấu kim loại và một số được trang bị thiết bị rót tự động và bộ điều khiển để nạp và tháo. Hệ thống chân không chủ yếu bao gồm một máy bơm chân không, một van chân không và một đồng hồ đo chân không.