Lò chân không, tức là trong không gian cụ thể của buồng lò, sử dụng hệ thống chân không (được lắp ráp cẩn thận bằng bơm chân không, thiết bị đo chân không, van chân không và các thành phần khác) để xả một phần chất trong buồng lò, sao cho áp suất trong buồng lò nhỏ hơn áp suất khí quyển tiêu chuẩn, và sử dụng không gian trong buồng lò để đạt được trạng thái chân không, đây chính là lò chân không.
Lò chân không là thiết bị gia nhiệt trong môi trường chân không. Buồng lò được dẫn đến hệ thống bơm chân không cao trong lò được bịt kín bằng nắp kim loại hoặc thủy tinh thạch anh. Độ chân không của lò có thể đạt tới 133×(10-2~10-4)Pa. Hệ thống gia nhiệt trong lò có thể được gia nhiệt trực tiếp bằng cách gia nhiệt điện của dây lò điện trở (như dây vonfram), hoặc có thể được gia nhiệt bằng cảm ứng tần số cao. Nhiệt độ tối đa có thể đạt khoảng 3000 độ. Nó chủ yếu được sử dụng để nung gốm, nấu chảy chân không, khử khí và ủ các bộ phận chân không điện, hàn các bộ phận kim loại và hàn kín gốm-kim loại.
